アルプス電気(株)は、ピエゾ抵抗式のMEMS圧力センサ「HSSPシリーズ」を発表した。新製品は、薄膜プロセス技術、精密加工技術、パッケージ技術を結集して小型、低背化を実現した製品で、省スペース化による設計の自由度向上に貢献する。用途は、携帯電話、ポータブル・ナビゲーション、歩数計など。
〔特徴〕
- 素子単品の小型タイプとアンプ搭載の高出力タイプがある
- 小型タイプは世界最小クラスの2.5（W）×2.5（D）×0.7（H）mmの小型・低背化を実現
〔
主な仕様〕
HSPPAR(小型タイプ)/
HSPPAA（アンプ搭載タイプ）
- 外形サイズ：2.5×2.5×0.7mm/3.5×3.5×1.0mm
- 圧力検知範囲：50～110kPa
- 使用温度範囲：-20～+85℃
- 電源：定電流駆動 0.55mA/定電圧駆動 2.5±0.125V
